主要技术指标
精密光学位移台
速度
30 mm/s
最小分辨率
0.1 um
重复定位精度
<2 um
功率探测器
测试波长
350-1700 nm
功率检测范围
50 nW-40 mW
抖动消除
参比双通道信号同时采集
应用实例
实验条件
样品名称
单晶硅
激发光波长
1030 nm
探测光波长