喜报 | 热烈庆祝创锐光谱首套碳化硅晶圆成像检测系统成功发运行业知名客户

“南园春半踏青时，风和闻马嘶”。

阳春三月，春风送暖。历经了150多个日夜不眠不休地研发、组装、调试，创锐光谱碳化硅（SiC）晶圆质量大面积成像系统SIC-MAPPING532（下简称S-532）达到持续稳定运行标准，正式下线发运行业知名客户。

S-532为国际首台套基于瞬态光谱技术的第三代半导体缺陷检测设备，不仅实现了相关技术的全自主国产化替代，在各种技术指标上也全面超越进口同类产品。S-532的成功应用将助力国产SiC产业的高质量发展，加速推进解决关键材料的 “卡脖子”问题。同时，S-532设备的应用也标志着创锐光谱在工业检测领域实现重要突破，向工业检测蓝海市场迈出坚实的第一步。